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NS-XY200Z100-01 重载XYZ三维纳米定位平台

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产品编号
NS-XY200Z100-01
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三维纳米台
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NS-XY200Z100-01 重载XYZ三维纳米定位平台

NS-XY200Z100-01是一款高精度大负载三维纳米定位平台,负载可达5kg。闭环行程可达200/200/100μm,闭环分辨率 0.8/0.8/0.5nm。

 

典型应用
• 显微成像          • 激光加工

• 表面检测          • 光学测量
• 半导体加工

 

关键词:
纳米位移平台
高精度运动控制系统
压电位移台
压电定位台
三维定位台
电控位移台
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  • 三英精控NS-XY200Z100-01 三维模型图.x_t

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