激光干涉仪采用非接触测量，具有很高的灵敏度和精度，在精密运动位移台的测量上应用广泛。三英精控生产的带有闭环控制的微米产品均采用激光干涉仪来进行行程、定位精度、重复定位精度、俯仰、偏摆、直线度、平面度等技术参数的测量。

1.将平移台移动至行程反向极限位置，干涉仪测量读数清零。

2.将平移台移动至行程正向极限位置，记录干涉仪测量值。

重复步骤1和步骤2不应少于3次。

记录每次测得的行程是否都符合要求，如都符合，行程取测量的最小值。

将激光干涉仪连接好，选择合适的镜组，光对好后，按照以下步骤进行测量：

1.按下图所示，在全行程平均分布i个测量位置，分别为（i≥5），其中为行程反向极限位置，为行程正向极限位置。

2.将平移台移动至第1个测量位置，激光干涉仪读数清零。

3.将平移台从开始依次定位到，，...，，再从开始原路返回依次定位到，在每个位置稳定后，用激光干涉仪软件采集该位置的读数值。

重复步骤2和步骤3不应少于3次。

打开激光干涉仪软件，如下图所示，会同时显示重复定位精度和定位精度的值，读取即可。重复定位精度/定位精度取测量的最大值。

选择合适的镜组，激光干涉仪光对好后，按照以下步骤进行测量：

1.按下图所示，在全行程平均分布i个测量位置，分别为（i≥5），其中为行程反向极限位置，为行程正向极限位置。

2.将平移台移动至第1个测量位置，激光干涉仪读数清零。

3.将平移台从开始依次定位到，，...，，用激光干涉仪软件采集该位置的读数值。

重复步骤2）和步骤3）不应少于3次。

打开激光干涉仪软件，查看显示偏摆的测量值，读取即可。偏摆取测量的最大值。

除了镜组摆放的位置不同，与偏摆测量的方法相同。

直线度：

更换镜组，对光。

1.将平移台移动至反向极限位置，激光干涉仪读数清零。

2.让平移台从反向极限位置一直走到正向极限位置，中间不停顿。

重复步骤1和步骤2不应少于3次。

打开激光干涉仪软件，查看直线度的测量值，读取即可。直线度取测量的最大值。

除了镜组摆放的位置不同，与直线度测量的方法相同。 

三英精控专注于精密运动控制技术和产品的开发，在纳米运动控制技术方面具有先进技术和经验。产品涵盖纳米移动平台、纳米快返镜、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等多系列产品。更多产品信息，请来电咨询。

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