因为真空室提供的空间有限，因此需要紧凑的设计。

一些电子器件的子系统，比如控制器或放大器，不能在真空环境下使用，所以必须将其布置在真空室的外面，这就需要考虑真空室的出入以及电缆布线设计。某些电子部件，比如电机、终端和室内开关、解码器读取磁头等，则必须安装在真空室内，因此必须进行专门的设计才能适应真空环境。 

除了最基本的材料选择以及表面处理，在组装时，必须重点考虑消除可能聚集空气的缝隙。缝隙可以缓慢的释放聚集的空气。这些被称之为虚假泄露，可能会延缓真空的建立，甚至会导致无法建立真空。孔或螺丝都需要排气。通过螺栓连接时（比如带加强肋的结构通过螺栓连接在一起），必须避免在表面之间形成缝隙，或者采取适当的措施，快速排放缝隙的气体（比如排放通道）。 

该系统主体采用高强度铝合金材料，选用进口交叉滚子导轨，配套高精度光栅尺作为反馈原件，采用超声电机驱动，实现系统内部无磁驱动，适用于高精度定位，高倍放大显微镜场所，也可适用于无磁，真空环等场所。